俄歇電子能量譜-真空組件

俄歇電子能譜(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發源的表面分析技術. AES分析區域受激原子發射出具有元素特征的俄歇電子。俄歇電子在固體中運行也同樣要經歷頻繁的非彈性散射，能逸出固體表面的僅僅是表面幾層原子所產生的俄歇電子，這些電子的能量大體上處于 10～500電子伏，它們的平均自由程很短，大約為5～20埃,因此俄歇電子能譜所考察的只是固體的表面層。俄歇電子能譜通常用電子束作輻射源，電子束可以聚焦、掃描，因此俄歇電子能譜可以作表面微區分析，并且可以從熒光屏上直接獲得俄歇元素像。它是近代察固體表面的強有力工具，廣泛用于各種材料分析以及催化、吸附、腐蝕、磨損等方面的研究。

俄歇電子能量譜-真空組件

主要特點：
小巧緊湊– fits on 2.75" flange (needs 1.5" ID tube)
Benefits of CMA design include – easy to align sample, good signal and resolution.
3kV 共軸電子槍
CeBix 燈絲，提供大電流密度
USB接口
Windows 7 數據獲取及分析軟件
ASCII command structure
LabVIEW 軟件驅動