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射頻離子/原子源（可轉(zhuǎn)換）-真空組件 射頻離子源：用于離子束沉積，離子束輔助沉積，MEMS 射頻原子源：用于合成氧化物，氮化物，氫原子清洗

X射線光源-真空組件 X射線光源（可用于X射線電子能譜） 雙陽極X射線光源 多種陽極材料 具有差分抽氣或者從安裝口抽氣 70mm O.D. CF安裝法蘭